マイクロブリッジ技術を採用した気体流量センサ。 ヒーターおよび温度センサ素子で構成された断熱ブリッジ構造の薄膜が組み込まれています。このチップ上を通過することで空気の流れを敏感に察知します。
特長
高感度、高速反応、小型、低消費電力
用途
空調関係, 医療関係、環境関係、情報技術関係
ＰＤＦ
マス・エア・フロー・センサ
マス・エア・フロー・センサには、ヒーターおよび温度の感知素子で構成される、断熱ブリッジ構造の薄膜が組み込まれています。このブリッジ構造によって感度を高め、チップ上を通過する空気または他の気体の流れに敏感に反応します。
最適用途
最先端のチップ設計技術と製造技術により、極めて高感度で、高速反応し、小型化されたマイクロブリッジを製造することができます。エアフローを測定する必要がある用途で使用されます。