圧力センサ
圧力センサは、微圧(250Pa)から高圧(700MPa)まで幅広い領域をカバーしています。 方式は、シリコン拡散方式、シリコンイオン注入方式、(半導体ひずみ方式、金属ひずみ方式、半導体蒸着方式を採用しています。




特長

アンプ内蔵、耐腐食性、高精度、デジタル出力、各種規格準拠(CE,MIL,FAなど)を用意

用途
半導体製造装置、一般産業機械、医療機器、テスト&メジャメント
民生品、研究&開発

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シリコン圧力センサ

シリコンダイアフラムと相性のよい媒体の絶対圧力センサ、差動圧力センサ、ゲージ圧力センサ、およびバキューム・ゲージ圧力センサです。これらのセンサは、プリント回路基板など低コスト商用グレード用途に最適です。ステンレスおよび真鍮のケースに収納されたシリコンベースのセンサは、過酷な環境下でも使用できます。SURSENSE™デュアル・センサもこの製品ファミリの一員です。

ハネウェルのシリコン圧力センサは、低コストで、信頼性の高い小型製品です。さまざまな環境条件で、優れた再現性、精度、および信頼性を発揮します。また、センサどうしの動作特性の間に明確な一貫性があるので、再校正なしで置き換えることができます。

圧力センサの内部には、化学的にエッチングされた薄いシリコン・ダイヤフラム表面に埋め込まれた4つのピエゾ抵抗器で構成される、感知素子があります。ダイアフラムや埋め込み抵抗の応力または歪みなど、圧力の変化によってダイアフラムが収縮します。抵抗器の値は加えられた応力に比例して変化し、電気信号として出力されます。

圧力センサの測定タイプには、真空ゲージ・タイプや双方向タイプなど、絶対、差動、およびゲージの3種類が設定されています。増幅タイプと非増幅タイプの両方で、広範な圧力レンジに対応することが可能です。.

さらに、OEMセンサの設計者の要件を満たすため、小型シリコン圧力センサの総合的な開発にも取り組んでいます。最大級のピエゾ抵抗マイクロマシン圧力センサ製品群には、業界標準のパッケージ技術、精密校正、および完全な信号処理機能が組み込まれており、H20で0.5~30psiの圧力レンジに対応することができます。センサ・ソリューションは、意のままに活用できます。

最適用途

 精密な圧力測定が要求される用途に最適です。

関連製品

  • 圧力センサ
  • 温度補正済センサ
  • トランスデューサ
  • フォースセンサ圧縮
  • 評価ボード

 

圧力トランスデューサ

この製品は、ステンレスと互換性のある媒体を対象にした耐用圧力トランスデューサ、負荷セル、それにトランスデューサの付属品で一式になっており、交換が簡単にできない航空機などの分野に使用されています。また、データ・インスツルメンツブランドのステンレス圧力トランスデューサに関する情報も提供しています。このWebサイトでは、ハネウェル・センシング&コントロール製のステンレス製圧力トランスデューサに関する情報全般のほか、データ・インスツルメンツブランドの圧力トランスデューサ、負荷セル、およびトランスデューサのアクセサリ全体についても説明します。製品選択ガイドを見れば、ハネウェルの圧力トランスデューサすべての主要な特色を一目で比較することができます。

関連製品

  • 圧力センサ
  • 温度補正済センサ
  • トランスデューサ
  • フォースセンサ圧縮
  • 評価ボード

 センシム

1PSI以下の低圧


標準低圧範囲

10.16cm(4インチ)(H20)
25.40cm(10インチ)(H20)

使用圧力

ゲージ圧
差圧

一般的な出力

0.5mV/V/インチH2O~5mv/V/インチH2O
5KΩインピーダンス
オープンブリッジ

リニア性およびヒステリシス

全範囲0.5%

一般的な応用方法

医療計測装置
空気流量モニタリング
産業用コントロール
HVAC

SLP004の特徴

0~10.16cm(4インチ)の水センサで、25.4㎝(10インチ)まで検知可能(H20)
高感度センサ
正圧と負圧を測定
パッケージはボタン式と6ピンDIP式の2種類を用意
ボス・ダイアフラム

SLP010の特徴

0~25.4cm(10インチ)の水センサで、5.08m(200インチ)まで検知可能(H20)
高感度
正圧と負圧を測定
6ピンDIPパッケージ

 
汎用1~150psi


標準圧力範囲

1 psi
5 psi
15 psi
30 psi
100 psi
150 psi
300 psi

使用圧力

絶対圧
ゲージ圧
差圧

一般的な出力/キャリブレーション

出力信号75~150mV
5KΩインピーダンス
オープンブリッジ

リニア性およびヒステリシス

全範囲0.2%

一般的な応用方法

産業コントロール
空気圧コントロール
医療計測装置

SCCの特徴

どこよりも低価格
5psid、15psia/d、30psia/d、100psia/d、300psiaの5種類を用意
定電流励起
スパンTCエラーをセンサが自己補正
正圧と負圧を測定
5種類のパッケージからお好きなものを選べる

 


SCC - 表面実装パッケージの特徴

小型表面実装パッケージ (7.6×7.6×3.6 mm [0.3×0.3×0.14インチ])
低価格
絶対圧およびゲージ圧
定電流供給方式を採用しているので温度の自己補正が可能
正圧と負圧を測定
圧力範囲0 - 5~0 - 300psi

SX7シリーズ - ボタン式パッケージ入り圧力センサ(1~300psi)

ボタン式・パッケージ
高圧
小型
低騒音
RTV 730 ダイ接着

SXの特徴

低圧を検知可能
1psid、5psid、15psia/d、30psia/d、100psia/d、150psia/dの6種類を用意
定電流励起
正圧と負圧を測定
5種類のパッケージからお好きなものを選べる

SXシリーズ - 表面実装パッケージの特徴

小型表面実装パッケージ
ゲージ圧および絶対圧
目に触れにくいものと、逃し穴付きの2種類
圧力範囲は0 - 1~0 - 150psi
低価格
7.6×7.6×3.6 mm [0.3×0.3×0.14インチ]の小型サイズ
正圧と負圧を測定




ステンレス鋼製


標準圧力範囲

5psi
15psi
30psi
50psi
100psi
200psi
300psi
500psi
1,000psi
2,500psi
5,000psi

使用圧力の種類

絶対圧
ゲージ圧

一般的出力/キャリブレーション

出力信号100~200mV
5KΩインピーダンス

直線性およびヒステリシス

0.2%フルスケール

一般的な応用方法

水監視
オフロード自動車
産業オートメーション
油圧用

 

13Uの特徴

低価格
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~500psia、0~1000psia、0~2000psia、0~3000psia、0~5000psiaの圧力範囲
電圧励起または電流励起

19Uの特徴

低価格
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~5psig、0~15psia/g、0~30psia/g、0~50psia/g、0~100psia/g、0~200psia/g、0~00psia/g、0~500psia/g、0~1000psia/gの圧力範囲
パッケージングは8種類で、すべてオプションです。


 
1psi以下の低圧


標準圧力範囲

4インチH2O
10インチH2O
5インチH2O

使用圧力の種類

ゲージ圧
差圧

一般的出力/キャリブレーション

10mv/インチH2O、5mv/インチH2O、2.5mv/インチH2O

直線性およびヒステリシス

0.5%フルスケール出力

一般的な応用方法

医療機器
エアフロー
HVAC

 

SCXL004DNの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
12.0Vdcで10mv/インチH2O
10インチH2Oまで測定できる0~4インチH2Oセンサ
正圧と負圧を測定
SCXシリーズのパッケージで使用可能

SDXL010DD4の特徴 *

温度補正およびキャリブレーション済センサ
12.0Vdcで2.5mv/インチH2O
200インチH2Oまで測定できる0~10インチH2Oセンサ
正圧と負圧を測定
小型6ピン・ミニDIPパッケージで使用可能
* さらに詳しい情報は、最寄りのハネウェル代理店までお問い合わせください


SDXL005D4の特徴*

低価格DIPパッケージ
0~5インチH2Oの圧力範囲
温度補正およびキャリブレーション済
高入力インピーダンスで低電力消費
正圧と負圧を測定
高出力信号 - 12.0Vdcで5mv/インチH2O
標準ダイアフラグ - 耐衝撃性、耐振動性
高保証圧力 - 200インチH2O
* さらに詳しい情報は、最寄りのハネウェル代理店までお問い合わせください 

汎用


SCXの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
精度0.5%、温度異常を低減
0~1psid、0~5psid、0~15psia/d、0~30psia/d
0~100psia/d、0~150psia/dの圧力範囲
正圧と負圧を測定

SCX-Cの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
精度1%
0~1psid、0~5psid、0~15psia/d、0~30psia/d
0~100psia/d、0~150psia/dの圧力範囲
正圧と負圧を測定
低価格 

SDX-Aの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
精度0.5%、温度異常を低減
0~1psid、0~5psid、0~15psia/d、0~30psia/d、0~100psia/dの圧力範囲

SDXの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
精度1%
0~1psid、0~5psid、0~15psia/d、0~30psia/d、0~100psia/dの圧力範囲 
正圧と負圧を測定 
低価格

 

ステンレス3~5psi


19Cの特長

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~5psig、0~15psia/g、0~30psia/g、0~50psia/g、0~100psia/g、0~200psia/g、0~300psia/g、0~500psia/g、0~1000psia/gの圧力範囲
パッケージングは8種類で、すべてオプションです。

S13Cの特徴

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
電圧励起または定電流励起
セル・パッケージまたはポート・パッケージ、絶対圧またはシールドゲージ圧、500psi、1000psi、2000psi、3000psi、5000psiの圧力範囲

トランスデューサ

 

汎用


特徴

ASDXシリーズ 1~100psi用のキャリブレーションおよび増幅済センサ

ASDXシリーズは、センシムICTの実績ある業界最先端のSDXシリーズ・センサを増幅したものです。1psi(ASDX01xx4R)から100psi(ASDX100xx4R)の絶対圧、差圧、ゲージ圧を測定することができます。

特徴

正確なASIC調整
キャリブレーションおよび温度補正済
高出力
小型
半導体技術 
ASCXシリーズ - DC5.0Vで動作、DC0~5V出力、低価格、ナイロンパッケージ、調整可能オフセット
標準圧力範囲:0~1psid、0~5psid、0~15psia/d、0~30psia/d、0~100psia/d、0~150psia/d

ステンレス


標準圧力範囲

5psi
15psi
30psi
50psi
100psi
200psi
300psi
500psi
1,000psi

19C/SSXの使用圧力の種類

絶対圧
ゲージ圧

一般的出力/キャリブレーション

出力信号100~200mV
5KΩインピーダンス

直線性およびヒステリシス

0.2%フルスケール

一般的な応用方法

天然ガス計量
産業用コントロール製品
医療機器
上記の特徴は、以下の製品には該当しません。

SPT mA低価格4~20 mA出力トランスデューサ
SPT 4V低価格電圧出力トランスデューサ
SPT mV低価格0~100 mV出力トランスデューサ

 

保証要素

出力は増幅済
高サイクル寿命
(>20Mサイクル)
信頼性ある半導体技術
ステンレスの圧力遮断ポート
ESD、EMI、RFI免責
逆電圧保護
0.5~4.5Vのレシオメトリック出力

 

モデル19シリーズの特徴

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~5psig、0~15psia/g、0~30psia/g、0~50psia/g、0~100psia/g、0~200psia/g、0~300psia/g、0~500psia/g、0~1000psia/gの圧力範囲
パッケージングは8種類で、すべてオプションです。

 

モデル13シリーズの特徴

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
電圧励起または定電流励起
セルパッケージまたはポートパッケージ
絶対圧またはシールドゲージ圧
500psi、1000psi、2000psi、3000psi、5000psiの圧力範囲

SSXの特徴 

温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~15psig、0~30psig、0~100psig、0~300psig、0~500psigの圧力範囲
3/8 NPT管用メスねじ

 

SPT mA低価格4~20 mA出力トランスデューサ

SPT mAシリーズのトランスデューサは、4~20mAの2線出力ステンレス遮断トランスデューサです。
0~3psiから0~5000psiまでのSPT mAXXXXPシリーズ

NEMA 4定格
キャリブレーションおよび温度補正済
耐久性あるステンレス・パッケージ
小型
絶対圧、ゲージ圧、シールドケージ圧、真空ゲージ圧が使用可能

 

SPT 4V低価格電圧出力トランスデューサ

SPT 4Vシリーズのトランスデューサは、4ボルトスパン(1~5V)のステンレス遮断トランスデューサで、ほとんどのA/Dコンバータと接続できます。
0~3psiから0~5000psiまでのSPT 4VXXXXPシリーズ 

NEMA 4定格
キャリブレーションおよび温度補正済
耐久性あるステンレスパッケージ
小型
絶対圧、ゲージ圧、シールドケージ圧、真空ゲージ圧が使用可能 

 

 

SPT 4V低価格電圧出力トランスデューサ

SPT 4Vシリーズのトランスデューサは、4ボルトスパン(1~5V)のステンレス遮断トランスデューサで、ほとんどのA/Dコンバータと接続できます。
0~3psiから0~5000psiまでのSPT 4VXXXXPシリーズ  

NEMA 4定格
キャリブレーションおよび温度補正済
耐久性あるステンレスパッケージ
小型
絶対圧、ゲージ圧、シールドケージ圧、真空ゲージ圧が使用可能 


 

 

SPT mV低価格0~100 mV出力トランスデューサ

SPT mVシリーズのトランスデューサは、0~100mV出力のステンレス遮断トランスデューサです。
0~3psiから0~5000psiまでのSPT mVXXXXPシリーズ

NEMA 4定格
キャリブレーションおよび温度補正済
耐久性あるステンレス・パッケージ
小型
絶対圧、ゲージ圧、シールドケージ圧、真空ゲージ圧が使用可能 

データシートはダウンロード可能。 PDF

逆電圧保護
0.5~4.5Vのレシオメトリック出力

 

モデル19シリーズの特徴  

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~5psig、0~15psia/g、0~30psia/g、0~50psia/g、0~100psia/g、0~200psia/g、0~300psia/g、0~500psia/g、0~1000psia/gの圧力範囲
パッケージングは8種類で、すべてオプションです。

 

モデル13シリーズの特徴   

低価格
温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
電圧励起または定電流励起
セルパッケージまたはポートパッケージ
絶対圧またはシールドゲージ圧
500psi、1000psi、2000psi、3000psi、5000psiの圧力範囲 

SSXの特徴

温度補正およびキャリブレーション済センサ
ステンレス溶接構造(316Lステンレス)
0~15psig、0~30psig、0~100psig、0~300psig、0~500psigの圧力範囲
3/8 NPT管用メスねじ

 

SPT mA低価格4~20 mA出力トランスデューサ
SPT mAシリーズのトランスデューサは、4~20mAの2線出力ステンレス遮断トランスデューサです。
0~3psiから0~5000psiまでのSPT mAXXXXPシリーズ

NEMA 4定格
キャリブレーションおよび温度補正済
耐久性あるステンレス・パッケージ
小型
絶対圧、ゲージ圧、シールドケージ圧、真空ゲージ圧が使用可能

 

 

SPT mV低価格0~100 mV出力トランスデューサ   
SPT mV低価格0~100 mV出力トランスデューサ
SPT mVシリーズのトランスデューサは、0~100mV出力のステンレス遮断トランスデューサです。